การควบคุมหรือป้องกันมลพิษทางอากาศจากโรงงานอุตสาหกรรม อาจแบ่งมลสารในอากาศได้เป็น 2 พวกใหญ่ ๆ คือฝุ่นละอองกับก๊าซเสีย รบบดักฝุ่นละอองที่ใช้กันทั่วไปได้แก่ Electrostatic precipitator, ระบบผ้ากรองและระบบฉีดดัก ส่วนระบบขจัดก๊าซเสียที่ใช้กันทั่วไปได้แก่ระบบฉีดดัก, ระบบเผาไหม้และระบบดุดซับส่วนประกอบของระบบ ได้แก่ ระบบท่อ, ระบบปรับอุณหภูมิให้เหมาะสม, ระบบรวบรวมมลสารที่ดักได้, พัดลม, มอเตอร์และปล่องระบาย, นอกจากนี้การตรวจสอบบำรุงรักษาระบบขจัดฯ ยังเป็นสิ่งที่จำเป็นมาก เพื่อให้ระบบ มีประสิทธิภาพ

ระบบ นี้ใช้ได้กับก๊าซเสียที่มีมลสารเป็นอนุภาค เป็นอนุภาคที่ทำให้เกิด ประจุไฟฟ้าได้ง่าย หลักการของระบบคือการนำก๊าซผ่านสนามไฟฟ้าสถิตย์ (สร้างด้วยกระแสไฟแรงสูง) แล้วผ่านพื้นที่ผิวที่เป็นกลางซึ่งเป็นพื้นที่รวบรวมอนุภาคของสาร โมเลกุลของอากาศจะมีประจุเกิดขึ้นเมื่อก๊าซเสียไหลผ่านอีเลคโทรด ซึ่งมีกระแสไฟแรงสูงไหลผ่าน และโมเลกุลอากาศที่มีประจุแล้วจะเหนี่ยวนำให้อนุภาคมลสารเกิดประจุเช่นกัน อนุภาคเหล่านี้จะเคลื่อนที่ไปที่ผิวที่มีประจุตรงกันข้าม ทำให้อนุภาคกลายเป็นกลาง อนุภาคจะยังคงเกาะอยู่ที่พื้นผิวนี้ได้เพราะคุณสมบัติการเกาะกันระหว่าง อนุภาครวมทั้งคุณสมบัติของสนามไฟฟ้า อนุภาคหรือฝุ่นละอองจะตกจากพื้นผิวที่เกาะอยู่ด้วยการเคาะหรือเขย่าด้วยมอเตอร์ฝุ่นละอองจะตกลงสู่ hopper และจะถูกดูดด้วยลมหรือระบบลำเลียงแบบเกลียวเดือยหมูออกจาก hopper บางครั้งฝุ่นละอองที่ก้น hopper อาจฟุ้งกระจายเมื่อมีการเคาะหรือสั่น สามารถแก้ปัญหานี้โดยการแบ่งช่วงระบบ และทำการเคาะหรือสั่นให้ฝุ่นละอองตกทีละช่วง 
ระบบ EP เหมาะสำหรับอากาศเสียที่มีปริมาณมาก และขนาดฝุ่นละอองน้อยกว่า 10-20 ไมครอน (โดยส่วนใหญ่ต่ำกว่า 1 ไมครอน) ประสิทธิภาพอาจสูงถึง 99% ซึ่งขึ้นอยู่กับคุณลักษณะอากาศเสีย ความยากง่ายในการทำให้อนุภาคเกิดประจุ โดยระบบนี้จะใช้กับอากาศเสียที่มี อุณหภูมิไม่เกิน 370^oc แต่อาจใช้กับอากาศเสียที่มีอุณหภูมิสูงเกือบ 550^oc ได้ (อายุการใช้งานจะสั้นลง)

ระบบท่ออาจทำหน้าที่นำอากาศเสียพร้อมกับเป็นอุปรณ์ถ่ายเทความร้อนเพื่อให้ อากาศเย็นลงท่อที่มีขนาดเล็กเกินไปทำให้เกิดแรงดันสถิตย์ในท่อสูง ซึ่งทำให้ต้องสิ้นเปลืองกำลังของพัดลม โดยทั่วไปแบ่งชนิดท่อที่ใช้เป็น 4 พวก ได้แก่ ท่อเหล็กธรรมดา ท่อเหล็กสแตนเลส ท่อหล่อเย็นด้วยน้ำและท่อทำด้วยวัสดุทนไฟ ท่อเหล่านี้มิได้แตกต่างกันเพียงเนื้อวัสดุแต่จะใช้งานที่อุณหภูมิต่างกัน ด้วย

บางครั้งอาจต้องใช้ไซโคลนดักฝุ่นขนาดใหญ่เสียก่อน เรียกไซโคลนว่าเป็น precleaner อากาศเสียที่ผ่านไซโคลนแล้วจะมีปริมาณฝุ่นละอองที่เหมาะสมซึ่งจะช่วยให้ EP มีอัตราการสึกหรือไม่มากตลอดจนการดูแลรักษาไม่มีปัญหา
ไซโคลนมีหลักการที่อาศัยแรงหนีศูนย์กลางของฝุ่นละอองในการแยกฝุ่นละอองออก จากอากาศอากาศเสียจะเข้าไซโคลนในแนวเส้นสัมผัสตรงด้านข้างของไซโคลน เพื่อให้เกิดแรงหนีศูนย์กลางและเกิดลำอากาศที่หมุนเป็นวงกลมพร้อมกับเคลื่อน ตัวลงอนุภาคฝุ่นละอองจะถูกเหวี่ยงกระทบผนังไซโคลนและตกลงด้านล่างของไซโคลน ส่วนลำอากาศหมุนเมื่อเคลื่อนตัวลงส่วนล่างของไซโคลนแล้วจะเปลี่ยนทิศทางโดย เคลื่อนตัวขึ้นผ่านทางช่องออกซึ่งเป็นไส้กลางที่ห้อยจากด้านบนของไซโคลน

ในการออกแบบไซโคลนรับปริมาณอากาศเสียจำนวนหนึ่ง ถ้าออกแบบโดยใช้ไซโคลนขนาดใหญ่เพียงตัวเดียวจะมีประสิทธิภาพการดักฝุ่นไม่ สูงเท่าที่ควรเพราะจะเกิด แรงหนีศูนย์กลางที่มีขนาดไม่มากจึงควรใช้ไซโคลนขนาดเล็ก ๆ หลาย ๆ ตัว ซึ่งจัดให้แบ่งรับปริมาณอากาศเสียได้เท่า ๆ กัน จะได้ประสิทธิภาพการดักฝุ่นดีกว่า และขนาดก็ไม่สูงใหญ่เทอะทะเหมือนใช้ไซโคลนตัวเดียว โดยทั่วไปไซโคลนจะมีประสิทธิภาพการดักฝุ่นขนาดเกิน20 ไมครอนได้ดีพอควร 

การขจัดฝุ่นจากเครื่องกรองฝุ่น (baghouses, EP, ไซโคลน) อาจจะกระทำได้โดยอาศัยคนงานปิด-เปิดวาล์ว หรือเป็นแบบอัตโนมัติโดยระบบลำเลียงแบบเกลียวเดือยหมูกับโรตารี่วาล์วถ้า ปริมาณฝุ่นไม่มากอาจเก็บฝุ่นไว้ภายใน hopper ของระบบได้ระยะเวลาหนึ่งก่อนจะขนถ่ายไปทิ้งภายหลังถ้าปริมาณฝุ่นมีมากจำเป็น ต้องใช้ระบบลำเลียงแบบเกลียวเดือยหมูและโรตารี่วาล์ว เพื่อลำเลียงฝุ่นออกจาก hopper ของระบบขจัด

ถ้าอากาศเสียมีอุณหภูมิสูง ก่อนนำเข้า EP ต้องทำให้เย็นลงเสียก่อน การทำให้อากาศเย็น ทำได้หลายวิธี อาจแบ่งเป็นวิธีเปียกและวิธีแห้ง วิธีเปียกได้แก่การฉีดน้ำเป็นฝอยความร้อนจะถูกถ่ายเทจากอากาศเพื่อไปใช้ใน การระเหยหยดน้ำนิยมใช้ภาชนะทรงกระบอกสำหรับวิธีนี้ ความเร็วอากาศจะลดลงภายในภาชนะนี้พร้อม ๆ กับน้ำจะถูกสเปรย์เพื่อให้เกิดการระเหย เส้นผ่าศูนย์กลางและความยาวของภาชนะทรงกระบอกขึ้นกับขนาดของหยดน้ำที่สเปรย์ ออกมา รวมทั้งอุณหภูมิและความเร็วสัมพันธ์ระหว่างหยดน้ำกับอากาศเสีย โดยทั่วไปจะออกแบบให้ความเร็วอากาศเสียในภาชนะทรงกระบอกเท่ากับ 3 เมตร/วินาทีโดยประมาณและแรงดันน้ำที่สเปรย์เท่ากับ 6.8 บรรยากาศโดยประมาณถ้าแรงดันน้ำมากกว่านี้จะยิ่งได้หยดน้ำเป็นฝอยเล็ก ๆ มากขึ้น จะทำให้น้ำระเหยเป็นไอได้เร็ว ขนาดภาชนะจะเล็กลง ราคาค่าก่อสร้างระบบทำก๊าซเย็นโดยการฉีดน้ำขึ้นกับขนาด ปริมาตร วัสดุ และปริมาณน้ำใช้

วิธีทำก๊าซให้เย็นโดยไม่ใช้น้ำ จะอาศัยการถ่ายเทความร้อนจากก๊าซสู่อากาศภายนอกโดยการพาความร้อน และแผ่รังสีด้วยการนำก๊าซร้อนผ่านเข้าไปในท่อเหล็กซึ่งมีความยาวเพียงพอตามปกติท่อเหล็กจะมีรูปร่างเป็นรูปตัว U สลับกันไปมาเพื่อประหยัดเนื้อที่และให้ฝุ่นบางส่วนสามารถตกลงได้ ดังนั้นการทำก๊าซให้เย็นลงจะทำให้ปริมาตรก๊าซเสียลดลง และในวิธีฉีดน้ำ ก๊าซเสียจะมีความชื้นเพิ่มขึ้นซึ่งจะช่วยให้ความต้านทานฝุ่นละอองลดลงด้วย

เป็นระบบฉีดดักประสิทธิภาพสูงสามารถดักฝุ่นละอองขนาดเล็ก (ต่ำกว่าหนึ่งไมครอน) ได้ในขณะที่ Scrubber ธรรมดาไม่สามารถกระทำได้หลักการของระบบคือการนำก๊าซเสียผ่านช่องแคล (Venturi) ช่องแคบจะมีลักษณะหน้าตัดค่อย ๆ แคบลงจนถึงส่วนที่เป็นคอ (Throat) ซึ่งเป็นส่วนแคบที่สุด แล้วจึงจะมีหน้าตัดค่อย ๆ บานขึ้น ขณะก๊าซเสียผ่านช่องแคบจะมีการฉีดน้ำออกมาในแนวตั้งฉากกับการไหลของก๊าซเสีย (ฉีดน้ำด้วยแรงดันปกติ) น้ำเมื่อกระทบกับลำก๊าซซึ่งมีความเร็วสูงในช่องแคบจะแตกกระจายเป็นหยดเล็ก ๆ จำนวนมาก ซึ่งจะทำให้มีโอกาสสัมผัสกับอนุภาคฝุ่นละอองจนรวมตัวกันได้บางส่วน ขณะที่ก๊าซเสียและละอองน้ำเคลื่อนผ่านหน้าตัดVenturi ซึ่งบานขึ้นจะยิ่งมีโอกาสรวมตัวกันมากขึ้นเพราะความเร็วลดลง ดังนั้นฝุ่นละอองที่ออกจาก Venturiจะมีขนาดและน้ำหนักเพียงพอที่ง่ายในการขจัดโดยอาศัยระบบขจัดแบบธรรมดา เช่น ไซโคลน

แรงดันลดที่เกิดใน Venturi ขึ้นกับความเร็วก๊าซในช่องแคบและปริมาณน้ำฉีดในการขจัดฝุ่นละอองขนาดต่าง ๆ กัน จะใช้ความเร็วก๊าซในช่องแคบและปริมาณน้ำฉีดต่างกันฝุ่นละอองยิ่งเล็กมากยิ่งต้องใช้แรงดันมากจึงจะมีประสิทธิภาพ การใช้แรงดันมากจะทำให้ขนาดหยดน้ำยิ่งเล็กลงและมีโอกาสสัมผัสรวมกัวกับฝุ่นละอองมาก เป็นผลให้มีประสิทธิภาพการดักฝุ่นละอองสูง การเพิ่มแรงดันที่ช่องแคบ Venturi กระทำได้โดยเพิ่มความเร็วก๊าซที่ผ่านคอ (ventrui throat) หรือเพิ่มปริมาณน้ำฉีดอย่างใดปย่างหนึ่งหรือทั้งสองอย่างพร้อมกัน ความสัมพันธ์ระหว่างแรงดันลดและประสิทธิภาพของระบบนี้จะเหมือนกันไม่ว่าVenturi scrubber จะมีรูปร่างอย่างใด  ระบบฉีดดักแบบ Venturi นี้ จะใช้งานที่แรงดันลดประมาณ 15-20 ซม.น้ำแล้วแต่คุณลักษณะของฝุ่นละออง และใช้ปริมาณน้ำฉีดประมาณ 0.2-1.25 ลิตร/วินาทีต่อก๊าซ 1ม³ /วินาที ประสิทธิภาพมากว่า 99% สำหรับฝุ่นละอองขนาดเกิน 1 ไมครอน และประมาณ 90-99% สำหรับฝุ่นละอองขนาดต่ำกว่า 1 ไมครอน  ฝุ่นละอองที่สัมผัสรวมตัวกับหยดน้ำจนมีขนาดใหญ่ขึ้นจะถูกแยกออกจากอากาศโดย อาศัยไซโคลนส่วนมากจะมีรูปร่างเป็นทรงกระบอกโดยคลอด ก๊าซจาก Venturi จะเข้าภาชนะทรงกระบอกในแนวเส้นสัมผัสทางส่วนล่าง และจะออกทางด้านบนภาชนะโดยทางออกที่อยู่ในแนวแกนเดียวกัน ส่วนล่างของภาชนะทรงกระบอกจะตีบลงเป็นรูปกรวยเพื่อรองรับโคลนตะกอน น้ำและโคลนตะกอนจากไซโคลนจะได้รับการแยกในบ่อตกตะกอนและการกรองเพื่อนำน้ำ กลับไปใช้ใหม่ สำหรับก๊าซที่ร้อนมาก ก่อนเข้า Venturi Scrubber จะได้รับการทำให้เย็นโดยการฉีดน้ำ เมื่อก๊าซนี้ผ่าน Scrubber แล้วจะมีปริมาณไอน้ำปนอยู่มากจะทำให้เปลืองกำลังพัดลมและอาจทำให้พัดลมสึก กร่อนเร็วได้ จึงควรติดตั้งระบบขจัดความชื้นและลดอุณหภูมิหลังจากก๊าซผ่านไซโคลนแล้วเพื่อลดความชื้นและปริมาตรของก๊าซก่อนผ่านพัดลมระบบลดความชื้นและอุณหภูมิอาจเป็น ระบบ Spray and baffle หรือ sieve platecolumn หรือ bubble cap column ก็ได้ ระบบฉีดดักนี้นอกจากจะใช้ดักฝุ่นละอองขนาดต่ำกว่า 1 ไมครอนได้แล้ว ยังสามารถใช้ขจัดละอองกรดทั่วไปรวมทั้งก๊าซ SO₂ SO₃ ได้ด้วย  อุปกรณ์ทำก๊าซเย็น (quencher) ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของระบบฉีดดักนี้มีหลักการเหมือนการทำก๊าซให้เย็นโดยการฉีดน้ำทั่วไป แต่ใช้น้ำที่ปริมาณมากเกินพอ ดังนั้นจึงไม่ต้องมีหัวฉีด หรือชุดควบคุมปริมาณน้ำฉีดแบบอัตโนมัติแต่อย่างใด จุดประสงค์ของการทำก๊าซเย็นโดยรวดเร็วก็เพื่อให้ก๊าซมีอุณหภูมิต่ำลงจนถึงจุดอิ่มตัวด้วยไอน้ำและทำหน้าที่ดักฝุ่นขนาดใหญ่ได้บางส่วน วัสดุที่ใช้สร้างเป็นสวัดุทนกัดกร่อนหรือบุด้วยวัสดุทนไฟและอาจติดตั้งแบบนอนหรือตั้งก็ได้

การขจัดฝุ่นละอองโดยใช้ผ้ากรองจะมีประสิทธิภาพมากกว่า 99% หากการบำรุงหรือดูแลรักษาเป็นไปอย่างสม่ำเสมอ ก๊าซเสียที่จะใช้กรองด้วยระบบนี้ได้ต้องเป็นก๊าซแห้งถ้ามีความชื้นปนความชื้นต้องมีสภาพเป็นไอ โดยหลักการระบบนี้จะประกอบด้วยห้องหลายห้อง แต่ละห้องจะมีถุงกรองอยู่เป็นจำนวนมาก ก๊าซเสียจะถูกดูดเข้ามากรองภายในห้องโดยอาศัยพื้นที่ผ้ากรอง ฝุ่นจะเกาะที่ผ้ากรอง ขณะที่อากาศจะลอดผ้ากรองได้ ขณะที่การกรองดำเนินไป ฝุ่นจะเกาะผ้ากรองเพิ่มขึ้นทำให้เกิดแรงดันลดสูงขึ้นจนถึงเวลาที่ตั้งไว้ ห้องนี้จะถูกปิดไม่มีการกรองฝุ่นชั่วคราว ฝุ่นที่เกาะตามผิวผ้ากรองจะตกลงสู่เบื้องล่าง (hopper)

การแบ่งแยกประเภทของระบบกรองด้วยผ้า มักจะแบ่งตามวิธีหรือความถี่ในการทำให้ฝุ่นละอองตกจากผ้ากรอง อาจแบ่งออกเป็นแบบสั่นเขย่า, แบบลมหวน, แบบคลื่นลมอัด (shaker, reverse, pulse)

• วิธีสั่นเขย่า อาศัยมอเตอร์พร้อมลูกเบี้ยวเป็นอุปกรณ์ทำให้ชุดถุงผ้าที่แขวนไว้สั่นเขย่า เป็นระยะเวลาที่กำหนดไว้ ระบบกรองจะอยู่ในห้องหลายชุด (compartments)แต่ละห้องสามารถผิดวาล์วผีเสื้อให้ก๊าซเสียหยุดไหลผ่านเพื่อ ทำการสั่นเขย่าให้ฝุ่นตกจากถุงผ้า ระบบสั่นเขย่าทำให้เกิดแรงดังที่ถุง จึงต้องใช้ถุงที่หนาและแข็งแรงเพื่อมิให้เกิดการฉีกขาดง่าย
• วิธีใช้ลมหวนกลับ (Reverse air) ต้องปิดวาล์วไม่ให้ก๊าซเสียผ่านห้องแล้วอัดลมด้วยพัดลมขนาดเล็กในทิศทางสวนกั่นเพื่อให้ฝุ่นตกลงจากถุง ในบางครั้งอาจใช้แรงดันของห้องกรองที่แตกต่างกันเป็นตัวไล่ฝุ่นให้ตกจากถุง วิธีนี้สามารถใช้กับถุงที่ฉีกขาดง่าย เช่นผ้าทอจากใยแก้ว เป็นต้น
• วิธีใช้คลื่นลมอัด (pulse jet) อาศัยการอัดลมลงไปภายในถุง วิธีนี้ถุงจะหงายขึ้นฝุ่นจะเกาะอยู่นอกถุงกรอง ลมอัดมีแรงดัน 50-100 psi ระยะเวลาที่อัดลมสั้นมากประมาณ1/10 วินาที จะทำให้เกิดคลื่นที่ถุงคลื่นที่ถุงเคลื่อนที่จากบนลงล่างอย่างรวดเร็ว ทำให้ฝุ่นล่วงจากผนังถุผ้าได้ ดังนั้น ภายในถุงผ้าจึงต้องมีโครงเหล็กสแตนเลสรองรับถุงผ้าไว้ โดยทั่วไประบบกรองฝุ่นที่ใช้คลื่นลมอัดถุงจะไม่สร้างห้องกรองโดยแบ่งออกเป็นห้องเล็ก ๆ หลายห้องเหมือนระบบกรองแบบสั่นเขย่าแต่จะใช้วิธีอัดลมเข้าถุทีละแถวสลับกันไป โดยวิธีนี้ถุงกรองสามารถรับปริมาณอากาศเสียได้สูง และสัดส่วนระบบทั้งหมดจะเล็กลง

Thermal and Catalytic Incineration
 

Adsorption
 

• Charged droplet scrubber
• Electron-beam dry scrubber
• Electrostatic fiber beds
• High gradient magnetic separation
• Ceramic membrane filtration